| Mode: For a past period of time For all time by years For all time by quarters For all time by months |
Васильев, Владислав Юрьевич. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники [электронный ресурс]: Учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2019 — 107 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=397452>. — <URL:https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg>.
| Period | Read | Copy | Open | Total | |
|---|---|---|---|---|---|
| Total | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |