| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Камлюк, В. С. Технологическое оборудование для микроэлектроники [электронный ресурс]: учебное пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Технологическое оборудование для микроэлектроники, 2025-04-07. — Электрон. дан. (1 файл). — Минск: Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014 — 392 с. — Книга находится в премиум-версии IPR SMART. — Гарантированный срок размещения в ЭБС до 07.04.2025 (автопролонгация). — Текст. — электронный. — <URL:https://www.iprbookshop.ru/67752.html>.Record create date: 9/6/2022 Subject: микроэлектроника; технологическое оборудование; микросхема; вакуумная система; кремниевая пластина UDC: 62 LBC: 32.84 Collections: ЭБС "IPRbooks" Allowed Actions: Open |
Annotation
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Document usage statistics
|
|
Document access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |