VSAU
Electronic Library

     
?
     
?

Details
Card Table RUSMARC

Щагин, Анатолий Васильевич. Основы автоматизации технологических процессов [электронный ресурс]: учебное пособие для спо / А. В. Щагин, В. И. Демкин, В. Ю. Кононов, А. Б. Кабанова. — Электрон. дан. — Москва: Юрайт, 2022 — 163 с. — (Профессиональное образование). — URL: https://urait.ru/bcode/488637 (дата обращения: 06.09.2022). — Режим доступа: Электронно-библиотечная система Юрайт, для авториз. пользователей. — <URL:https://urait.ru/bcode/488637>.

Record create date: 9/6/2022

Subject: Автоматика и управление; Прикладные науки. Техника.; Общая электротехника и электроника; Электротехника и электроника; Основы электротехники и электроники; Автоматизация технологических процессов; Электротехника и электронная техника; Основы автоматизации технологических процессов; Основы автоматизации технологических процессов производства неметаллических строительных изделий и конструкций; Электроника и электротехника; Системы автоматизированного проектирования технологических процессов; Автоматизация технологических процессов производства неметаллических строительных изделий и конструкций; Техническое обслуживание сложного электрического и электромеханического оборудования с электронным управлением; Основы электроники и электротехники

UDC: 658.012.011.56:658.512

LBC: 32.965я73

Collections: ЭБС "Юрайт"

Allowed Actions: Open

Annotation

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интегральных структур, систем автоматизации техпроцессов, технических средств автоматизации и управления, контроллеров и программно-технических комплексов отечественных и зарубежных производителей, используемых в системах управления техпроцессами, систем диспетчерского управления и сбора данных.

Document usage statistics

stat Document access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics