Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экс- периментальной техники методов электронной спектроскопии микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных мате- риалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в со- временной науке технике и технологии. Пособие предназначено для студентов обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем» «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных материалов» «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследова- ния микроэлектронных и наноэлектронных структур».