Зайцева, Е. Влияние ионной обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на толщину и показатель преломления ITO плёнок [электронный ресурс]: Статья / Е. Зайцева, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, К. С. Лебедев, И. Федотова. — Ижевск: ФГБОУ ВПО "Удмуртский Государственный университет", 2012 — 5 с. — Аспирантура. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=260493>. — <URL:https://znanium.com/cover/0516/516827.jpg>.

Record create date: 1/19/2023

Subject: Физико-математические науки — Физика твердого тела. Кристаллография

Collections: ЭБС "Znanium.com"