| Card | Table | RUSMARC | |
|
|
Бодров, Евгений Эдуардович. Основы технологии электронной компонентной базы [электронный ресурс]: Учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Вологда: Инфра-Инженерия, 2022 — 204 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=417174>. — <URL:https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg>.Record create date: 1/19/2023 Subject: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника Collections: ЭБС "Znanium.com" Allowed Actions:
|
Annotation
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Document usage statistics
catalog/document?id=417174
|
|
Document access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |
cover/1902/1902462.jpg
|
Document access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |