Рассмотрены вопросы методологии и технологии создания тонких пленок (ТП) неорганических материалов осаждением из газовой фазы для использования в технологиях микро- и наноэлектроники. Пособие создано на основе исследовательской и публикационной активности автора в течение 40 лет; развиты и обобщены результаты исследований начатых в 1970-х годах в Институте физики полупроводников Академии наук СССР и исследовательских отделах предприятий электронной промышленности г. Новосибирска. Рассмотрена совокупность вопросов связанных с методологией и технологией получения высококачественных ТП для изделий микроэлектроники показана возрастающая роль ТП технологий в технологических маршрутах изготовления изделий рассмотрены тенденции развития типы и характеристики оборудования для процессов производства ИМС технологические процессы получения различных ТП материалов на основе кремния свойства ТП материалов. Учебное пособие разработано в соответствии с рабочей программой учебной дисциплины «Семинары по специальности» образовательная программа: 11.04.04. «Электроника и наноэлектроника» магистерская программа «Микро- и наноэлектроника». Рекомендуется также для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника») 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники микросистемной техники наноэлектроники. Также рекомендуется для аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника радиотехника и системы связи» представляет интерес для технологов производства ИМС исследователей в области нанотехнологий.