В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование виды источников излучения их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур получения графеновых пленок изготовления суперконденсаторов матричных острийных структур супергидрофобных и супергидрофильных поверхностей. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».