VSAU
Electronic Library

     
     

Details

Родионов, Юрий Анатольевич. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [электронный ресурс]: Учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва: Инфра-Инженерия, 2019 — 352 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=346720>. — <URL:https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg>.

Record create date: 1/19/2023

Subject: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника

Collections: ЭБС "Znanium.com"

Allowed Actions:

catalog/document?id=346720 Open
cover/1053/1053392.jpg Open

Annotation

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника радиотехника и системы связи» а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Document usage statistics

catalog/document?id=346720

stat Document access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics

cover/1053/1053392.jpg

stat Document access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics