Card | Table | RUSMARC | |
Родионов, Юрий Анатольевич. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [электронный ресурс]: Учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва: Инфра-Инженерия, 2019 — 352 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=346720>. — <URL:https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg>.Record create date: 1/19/2023 Subject: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника Collections: ЭБС "Znanium.com" Allowed Actions:
|
Annotation
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника радиотехника и системы связи» а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Document usage statistics
catalog/document?id=346720
Document access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |
cover/1053/1053392.jpg
Document access count: 0
Last 30 days: 0 Detailed usage statistics |