Анненков, А. Н. Требования к производственному оборудованию микроэлектромеханических систем / А. Н. Анненков, С. А. Филонов // Энергия - ХХI, 2014. – №4 (88). — (Теория, расчет, конструирование).

Record create date: 9/21/2015

Subject: микроэлектромеханические системы; производственное оборудование; агроинженерный факультет; кафедра электротехники и автоматики; РИНЦ