| Режим: За последнее время За все время по годам За все время по кварталам За все время по месяцам |
Васильев, Владислав Юрьевич. Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники [электронный ресурс]: Учебное пособие / В. Ю. Васильев. — Новосибирск: Новосибирский государственный технический университет (НГТУ), 2019 — 107 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=397452>. — <URL:https://znanium.com/cover/1868/1868895.jpg>.
| Период | Чтение | Печать | Копирование | Открытие | Итого |
|---|---|---|---|---|---|
| Всего | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |