Учебное пособие содержит краткие сведения о технологиях производства наноматериалов и наноструктур методах контроля кристаллической структуры и размеров нанокристаллитов методах контроля электронной структуры и типа химических связей в наноматериалах а также типа и концентрации точечных дефектов в наноматериалах. Соответствует требованиям федеральных государственных образовательных стандартов высшего образования последнего поколения. Для студентов высших учебных заведений обучающихся по направлениям подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» и направлениям подготовки магистров 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».