Монография «Нанотехнология» подготовлена коллективом авторов на осно- ве исследований и разработок выполненныхн а кафедре микроэлектроники и в Центре микротехнологии и диагностики Санкт-Петербургского государствен- ного электротехнического университета. Систематически излагается материал охватывающий проблемы физики квантоворазмерныхн еорганических и биоорганических наноструктур; процес- сы нанотехнологии ориентированные на формирование нанослойных систем и нанокомпозиций неорганической и органической природы а также 3D- обработку с использованием наноразмерныхпучк ов. Рассмотрены электро- нографический оптические электрические электронно- и атомно-зондовые методы диагностики нанокомпозиций и анализа поверхности твердого тела с наноразмерным разрешением. Представлены практические результаты создания реальныхв остребованных устройств оптоэлектроники микро- и наносистем- ной техники на основе гетеронаноструктур нанопористых и наноструктуриро- ванныхм атериалов наноразмерныхо рганическихи неорганических мембран. Значительное внимание уделено микро- и наноаналитическим системам для экспресс-анализа наноколичеств вещества и контроля биоорганическихм акро- молекул и комплексов. Для научныхр аботников и инженеров занимающихся нанотехнологиями. Может быть полезна для подготовки специалистов магистров и аспирантов по направлениям: «Нанотехнология» и «Электроника и микроэлектроника».