| Карточка | Таблица | RUSMARC | |
|
|
Бодров, Евгений Эдуардович. Основы технологии электронной компонентной базы [электронный ресурс]: Учебное пособие / Е. Э. Бодров. — Вологда: Инфра-Инженерия, 2022 — 204 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=417174>. — <URL:https://znanium.com/cover/1902/1902462.jpg>.Дата создания записи: 19.01.2023 Тематика: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника Коллекции: ЭБС "Znanium.com" Разрешенные действия:
|
Аннотация
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники такие как производство полупроводниковых пластин их легирование нанесение тонких пленок фотолитография травление металлизация контроль процесса производства. Для студентов обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Статистика использования документа
catalog/document?id=417174
|
|
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |
cover/1902/1902462.jpg
|
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |