Рассмотрены математические модели которые описывают приборные полупроводниковые структуры технологические процессы их создания и программные средства обеспечивающие приборно-технологическое моделирование. Предназначено для магистрантов направления подготовки 110404 «Электроника и наноэлектроника». Может быть рекомендовано студентам всех специальностей и направлений укрупненной группы 110000 «Электроника радиотехника и системы связи».