Содержит основные сведения по метрологическому обеспечению наноиндустрии. Рассмотрены становление наномстрологии в XX-XXI вв. и концепции ее развития. Подробно изложены современные основы технического обеспечения наномстрологии. Освещены вопросы нестабильности точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям -поверке и калибровке. Материал по сканирующей зондовой микроскопии изложен на основе семи современных стандартов введенных в 2008-2009 гг. Описаны организационные принципы наномстрологии системы Гостехрсгулирования через сеть региональных отделений вновь созданного Центра метрологического обеспечения нанотсхнологий и отраслевых научно-исследовательских институтов. Приведен перечень вузов работающих в сфере наноиндустрии и указаны основные направления их исследований в данной области. Для ученых инженеров и других специалистов разрабатывающих проблемы наномстрологии. Может использоваться в учебном процессе вузов при подготовке кадров в сфере нанотсхнологий метрологии и технического регулирования а также в магистратуре и аспирантуре в этих научно-технических областях.