Карточка | Таблица | RUSMARC | |
Родионов, Юрий Анатольевич. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [электронный ресурс]: Учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва: Инфра-Инженерия, 2019 — 352 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=346720>. — <URL:https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg>.Дата создания записи: 19.01.2023 Тематика: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника Коллекции: ЭБС "Znanium.com" Разрешенные действия:
|
Аннотация
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника радиотехника и системы связи» а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Статистика использования документа
catalog/document?id=346720
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |
cover/1053/1053392.jpg
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0 Подробная статистика |