Электронная библиотека
ВГАУ

     
     

Детальная информация

Родионов, Юрий Анатольевич. Технологические процессы в микро- и наноэлектронике [электронный ресурс]: Учебное пособие / Ю. А. Родионов. — Москва: Инфра-Инженерия, 2019 — 352 с. — ВО - Бакалавриат. — <URL:https://znanium.com/catalog/document?id=346720>. — <URL:https://znanium.com/cover/1053/1053392.jpg>.

Дата создания записи: 19.01.2023

Тематика: Радиоэлектроника. Автоматика. Связь — Микроэлектроника. Наноэлектроника

Коллекции: ЭБС "Znanium.com"

Разрешенные действия:

catalog/document?id=346720 Открыть
cover/1053/1053392.jpg Открыть

Аннотация

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии соответствующему оборудованию и оснастке используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоев с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов обучающихся по специальности 11.00.00 «Электроника радиотехника и системы связи» а также инженеров занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

Статистика использования документа

catalog/document?id=346720

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика

cover/1053/1053392.jpg

stat Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика