В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой режимы обработки процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев отжига и легирования полупроводниковых структур формирование контактно-металлизационной системы планаризация. а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника. 11.04.03 -Конструирование и технология электронных средств. 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии».