В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нано- технологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент получения сложнооксидных сенсоров которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных пьезоэлектрических магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники» а также инженеров специалистов и ученых работающих в области технологии сенсоров.