Анненков, А. Н. Требования к производственному оборудованию микроэлектромеханических систем / А. Н. Анненков, С. А. Филонов // Энергия - ХХI, 2014. – №4 (88). — (Теория, расчет, конструирование).

Дата создания записи: 21.09.2015

Тематика: микроэлектромеханические системы; производственное оборудование; агроинженерный факультет; кафедра электротехники и автоматики; РИНЦ